两类测量
半导体晶圆厂与测试车间做两类截然不同的测量。第一类是器件本身的电学表征：电流–电压曲线、漏电流、阈值电压、电容、时序。这是源测量单元、参数分析仪与自动测试设备的工作，厂家如 Keysight、Keithley、Advantest 与 Teradyne。这些仪器施加电压或电流并测量另一方，低至飞安级，且自带标定与软件。本站没有针对这类工作的通用计算器。
第二类是晶圆与器件周围条件的测量：温度、真空、气体压力、湿度与振动。这些使用与任何流程工业相同的传感器，正是在这里，每天都需要参考表与单位换算。
温度：卡盘、炉体与烘箱
探针台与热卡盘在测试期间把晶圆保持在设定温度，通常在 −40 至 150 °C 之间或更高。卡盘温度由四线制连接的铂电阻读取，使引线电阻不进入结果。PT100 在 150 °C 时读数为 157.325 Ω；PT100 计算器给出任意温度下的阻值与元件等级的允差，这是两台卡盘读数不一致时首先要知道的数字。
扩散炉与氧化炉在 1000 °C 附近及更高温度运行，使用 R、S、B 型铂铑热电偶。它们的输出很小：S 型热电偶在 1000 °C 时给出 9.587 mV，每摄氏度仅变化约 11.5 µV，因此一度误差在端子处不过是几微伏的事。热电偶计算器带冷端补偿进行换算，S 型与 B 型页面列出了量程与允差等级。
老化与高温工作寿命试验把通电的器件放在烘箱中加应力。一种常见的鉴定条件（见 JEDEC JESD22-A108）是结温 125 °C 或更高、持续 1000 小时。烘箱与器件壳温用 K 或 T 型热电偶记录；K 型在 125 °C 时给出 5.124 mV。试验真正需要的是结温，即壳温加上器件自身功耗引起的温升，没有任何温度传感器能直接读到它。
真空与压力：一个单位问题
工艺腔室在业内许多场合以 Torr 与毫托标注，在其他地方以帕斯卡与毫巴标注，设施气体则用 psi、bar 或 kPa。一个 Torr 等于 133.322 Pa 或 1.3332 mbar，因此 100 mTorr 的工艺就是 13.33 Pa。洁净室增压与排气是以帕斯卡或英寸水柱计的微小压差：25 Pa 等于 0.1004 inH₂O。压力单位换算器一次显示全部十六种单位。
两点提醒。电容薄膜真空计直接测量压力，但热传导与电离真空计由气体性质推断压力，对不同气体读数不同；换算单位纠正不了这一点。另外，真空计是绝压仪表，而大多数管路压力变送器是以大气为参考的表压仪表。
湿度与振动
洁净室湿度保持在窄带内，因为它影响静电放电、光刻胶工艺与腐蚀。22 °C、相对湿度 45 % 的房间露点为 9.5 °C；任何比这更冷的表面（例如冷冻水管路）都会结露。露点计算器在相对湿度、露点与绝对湿度之间换算。
光刻与量测设备对地面振动敏感，地面振动以三分之一倍频程频带内的 RMS 速度（微米每秒）标注，通用 VC 曲线从 50 µm/s（VC-A）到约 3 µm/s（VC-E）。传感器报告的是加速度；振动换算器在给定频率下把加速度、速度与位移互相换算。它只处理单一频率，因此适合用来读懂规格或传感器数据手册，不适合拿实测频谱对照判据评估。
更新于 2026年10月11日